陈默站在原地，一动不动。


    他低头看着那张图纸。看了很久。


    然后从贴身的棉袄内兜里，摸出一个油纸包。


    油纸发黄发脆，边角磨出了毛边。


    打开，里面是一本三十二开的硬皮笔记本。


    翻开硬皮封面，扉页上用钢笔写着四个字：校准手记。


    字迹工整，但有几处墨水洇开了。


    不是水渍，是汗。


    “我师傅走之前，把这个给我的。”


    陈默的手在抖。


    “这台机器每一根导轨的直线度偏差。”


    “每一个蜗轮齿的实际齿距。”


    “主光路每个透镜组的最佳工作温度……”


    “全在这里面。”


    他把笔记本递到林希手上。


    “三百九十五个参数。”


    “他量了三年。”


    陈默吸了一下鼻子。


    “他说，''留着，总有一天会有人来修它。''”


    林希接过笔记本，翻开第一页。


    密密麻麻的数字，用铅笔一笔一划写成。


    每个数据后面都标注了测量日期、环境温度和湿度。


    有些页面的边角被反复翻折，纸张已经起了毛。


    直播间安静了几秒。


    然后弹幕开始滚动。


    【三百九十五个参数，量了三年。这不是笔记本，这是这台机器的体检报告。】


    【师傅熬瞎了眼睛没解决的问题，徒弟守了三年等来了能解决的人。】


    【“总有一天会有人来修它”，，这句话我要记一辈子。】


    【我现在就一个要求：把这台机器救活！】


    林希合上笔记本。


    “陈师傅。”


    “这些参数，正好是光栅尺补偿算法的输入数据。”


    “你师傅花三年量的东西，今天全用得上。”


    陈默的膝盖软了一下。


    他扶住机器底座，把脸别过去。


    肩膀在抖。


    周维民站在门口，喉头滚了两下，扭过头去看天花板。


    江俊走上前，轻轻拍了拍陈默的后背。没说话。


    他也是长光所出来的人。


    有些东西不用说。


    ---


    改造从第二天早上开始。


    江俊带着两名红星技术员。


    把光栅尺和伺服电机拆箱。


    陈默在旁边看着那两条银白色的光栅尺，眼睛一眨不眨。


    “一微米？”


    “一微米。”


    江俊拧紧固定螺栓，


    “红星跟长光所联合中心的产品。”


    陈默没再问。


    他蹲下去，开始拆工作台侧面的蜗轮箱盖。


    扳手在他手里转得飞快。


    每颗螺栓拧到什么位置松手，不用看，全凭手感。


    这台机器的每一颗螺丝，他都认识。


    光栅尺安装到位后。


    江俊接通数控板电源。


    屏幕上跳出一串位置读数。


    “x轴零位标定。”


    “陈师傅。”


    “你那本笔记上。”


    “x轴导轨在行程中点的直线度偏差是多少？”


    陈默连翻都没翻。


    “0.8微米，偏左。”


    江俊敲入补偿值。


    伺服电机嗡了一声，工作台微微平移。


    屏幕上的读数跳了一下，归零。


    “y轴呢？”


    “1.2微米，偏下。”


    “行程末端有个0.3微米的回程间隙，要单独补。”


    三百九十五个参数。


    陈默一个一个报，江俊一个一个录。


    没有人翻笔记本。


    全在陈默脑子里。


    三年，一百八十六次保养。


    每一次保养都要重新测量、重新记录。


    数据早就刻进骨头里了。


    直播间弹幕滚动：


    【这人是活的数据库啊。】


    【三年不是白守的，他把整台机器背下来了。】


    【人形激光干涉仪，比机器还精密。】


    下午三点，全部补偿参数录入完毕。


    江俊做最后一项测试：


    让工作台在全行程范围内往返运动。


    光栅尺实时采集位置数据。


    屏幕上，一条绿色的曲线缓缓展开。


    平直。


    偶尔有微小的波动，但伺服电机在零点几秒内就把它拉回来。


    “全行程定位精度，”


    江俊盯着数据，声音有点发紧，


    “正负3微米。”


    陈默靠在机器旁边，慢慢滑坐到地上。


    他没哭。


    他笑了。


    笑着笑着，把脸埋进膝盖里。


    ---


    光刻机活了。


    但活过来只是第一关。


    三天后，第一批试制硅片进入湿法刻蚀环节。


    刻蚀槽是陈默用不锈钢焊的，简陋但干净。


    酸液配方按照教科书上的标准比例调配。


    第一片硅片放进去.


    计时，取出，纯水冲洗，推到显微镜下。


    江俊看了一眼，脸色变了。


    “侧蚀太严重。”


    他让开目镜，林希凑上去看。


    5微米的线条，被酸液从两侧啃进去将近2微米。


    剩下的线宽不到1微米，有些地方已经断了。


    换配方，提高酸液浓度。


    第二片，断线更多。


    降低浓度，缩短时间。


    第三片，沟槽底部没刻透。


    连续三个通宵。


    十七种配方。


    没有一片合格。


    第四天凌晨，刻蚀车间里弥漫着酸雾的味道。


    陈默靠在墙角打盹，江俊的眼睛布满血丝。


    林希坐在角落，闭上眼睛。


    脑海里，直播间的画面亮了起来。


    他把问题原原本本地说了一遍。


    弹幕沉默了十几秒。


    然后一个id冒了出来：【材料狗不睡觉】。


    【别用纯hf。】


    【现在的光刻胶耐酸性差，纯氢氟酸刻蚀速率太快，根本控不住侧向钻蚀。】


    紧接着，第二条弹幕：


    【加nh4f做缓冲剂。氟化铵和氢氟酸的摩尔比6:1，槽液温度锁死35度。这个配方叫boe，缓冲氧化物刻蚀液。】


    第三条：


    【关键点：35度恒温。温度每波动1度，刻蚀速率变化8%。你们没有恒温槽的话，用水浴锅套着不锈钢槽，温度计插在水浴里，人工盯着。】


    第四条，另一个id【半导体搬砖人】：


    【nh4f这东西你们1983年应该能搞到，化工厂有。纯度不用太高，分析纯就够。】


    弹幕区停了一秒。


    然后齐刷刷一排：


    【大佬！】


    【材料狗永远不睡觉，但永远能救命！】


    【六比一！记住了！考试要考！】


    林希睁开眼。


    “陈师傅。”


    “化工库房里有没有氟化铵？”