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第308章 给光刻机装“眼睛”

    男人没回答。


    他盯着林希和江俊看了两秒。


    目光落在周维民手里的钥匙上。


    又扫了一眼门框上被撕掉一半的封条。


    喉结滚了一下。


    “周所。”


    声音发涩。


    “是来拉机器的?”


    周维民赶紧摆手:


    “不是不是,这位是红星科技的林经理。”


    “来看看设备情况......”


    “看看可以。”


    陈默打断他。


    声音很轻,但每个字咬得很死。


    “搬走不行。”


    周维民脸色不太好看,压低声音:


    “老陈,行政科的处理通知你也看到了。”


    “这是所里的决定……”


    “所里的决定是错的。”


    这句话出来,仓库里的空气凝住了。


    周维民嘴张了一下,没接上。


    陈默的眼眶开始泛红。


    “周所,这台机器没坏。”


    一个字一个字地说。


    “主光路系统是王老亲手校的。”


    “汞灯光源换过两次,每次都是我跟着师父一起换的。”


    “物镜组的像差修正到现在还是好的。”


    “它只是……大家不用了。”


    他吸了一下鼻子。


    “我知道所里缺钱。”


    “我也知道上面说''造不如买''。”


    “但这台机器是几百号人、干了四年搞出来的。”


    “我师父……”


    他停了一下。


    “我师父在这台机器上熬瞎了一只眼睛。”


    “求所里别把它砸了。”


    直播间弹幕刷得很慢,但每一条都很长。


    【一百多号人四年的心血,就这么要处理掉了。】


    【他师父熬瞎了一只眼睛,这句话我看了三遍。】


    【老陈把铺盖搬到仓库来了,他是怕自己不在的时候,机器被人拉走。】


    【那三件军大衣盖在机器上,他晚上盖什么?】


    仓库里沉默了很久。


    周维民低着头。


    他不是不懂陈默的心情,但所里的情况摆在那儿。


    江俊站在林希身后,嘴唇抿得很紧。


    他想起自己当年在长光所的日子。


    想起那些因为经费被砍而中途夭折的项目。


    林希没急着表态。


    他走到机器旁边,弯下腰,轻轻掀起一角军大衣。


    露出来的是主工作台的导轨面。


    他伸出右手,指腹贴上导轨表面,缓缓滑过去。


    三秒钟。


    直起身。


    “陈师傅。”


    林希看着陈默。


    “这台导轨,你多久保养一次?”


    “每周一次。”


    陈默下意识回答,


    “擦旧油,上新油。”


    “导轨面不能落灰。”


    “落灰了就会锈蚀,锈蚀了精度就完了。”


    “三年了?”


    “三年多。”


    陈默的声音有点抖。


    “一百八十六次。”


    林希收回手。


    指腹上沾着一层薄薄的油膜,均匀、细腻,没有一粒杂质。


    他转头看向江俊。


    江俊是光学精密仪器出身,一看林希的眼神就明白了。


    他走上前,掀开军大衣的另一角,露出底座的铸铁基体。


    蹲下去看了几秒。


    站起来的时候,表情变了。


    “林总。”


    江俊的声音压得很低,但压不住底下的东西。


    “这个底座……”


    “铸铁件自然时效去应力。”


    林希接过话。


    “这台机器从1979年铸造到现在,经历了四个春夏秋冬。”


    “铸铁内部的残余应力。”


    “已经通过自然温度循环,完成了最充分的释放。”


    “现在这个底座的形变量,比任何人工退火处理都要小。”


    他拍了拍铸铁基体。


    “这是时间给的礼物。”


    “花多少钱都买不来。”


    陈默愣住了。


    他守了这台机器三年。


    听过无数人说它是废铁、是累赘、是过时的破烂。


    从来没有人走过来摸一把导轨。


    然后告诉他,这台机器的底子是好的。


    直播间的弹幕也在此刻快速滚动起来:


    【懂行的来了!自然时效是精密设备领域的“陈年老酒”,放得越久越值钱!】


    【林总之前造砥柱机床,底座用的泉城青花岗岩,也是同样的道理,追求极致的形变稳定性。】


    【所以这台光刻机的机械底座,反而因为放了四年,变成了最完美的状态?】


    【废铁?这是宝贝!被你们当废铁扔了四年的宝贝!】


    陈默的嘴唇哆嗦了好几下。


    “你是说……这台机器,还能用?”


    “不是还能用。”


    林希收回手指,把沾着油膜的指腹在裤腿上蹭了蹭,


    “是它从来就没坏过。”


    他绕着gk-3走了一圈。


    军大衣被掀开大半,露出主光路系统的铸铝外壳。


    汞灯光源的接口擦得锃亮,连螺纹里都没有积灰。


    “陈师傅。”


    “这台机器当年下马,不是因为光学系统不行。”


    林希停在xy工作台前。


    用指甲弹了一下导轨侧面的刻度盘。


    “是因为这个。”


    陈默一愣。


    “套刻对准。”


    林希蹲下去。


    指着工作台底部一组老式的蜗轮蜗杆传动机构,


    “纯机械传动,没有位置反馈。”


    “丝杠转一圈,理论行程是0.5毫米。”


    “但实际上,蜗轮齿面磨损不均匀。”


    “每转一圈的真实位移都不一样。”


    他站起来,拍了拍手上的灰。


    “套刻精度要求正负5微米。”


    “这套机械传动的累积误差,最大能到8微米。”


    “所以第二层图形永远对不准第一层。”


    “废片率超过六成。”


    陈默的身体晃了一下。


    他当然知道。


    这个问题困扰了整个109会战团队两年。


    他师傅为了解决这个死区。


    在显微镜前连续坐了七十二个小时。


    左眼的视网膜就是那时候脱落的。


    最后也没解决。


    林希从公文包里抽出一张图纸,展开铺在行军床上。


    图纸上画着一套改造方案。


    xy工作台两侧,各加装一条光栅尺。


    光栅尺的信号接入一块数字控制板。


    控制板驱动两台微型伺服电机。


    替换原有的手摇蜗轮。


    “红星和长光所联合自研自产的光栅尺,分辨率1微米。”


    林希用笔尖点着图纸,


    “配合闭环伺服控制。”


    “丝杠的累积误差,在每个采样周期内实时补偿。”


    他看向陈默。


    “你的机器什么都好。”


    “光学系统是王老定的方案。”


    “底座经过四年自然时效,主光路没跑偏。”


    “它就差一双眼睛。”


    “现在,我把眼睛给它装上。”
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